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電容式加速度傳感器
簡要描述:
電容式加速度傳感器,多種量程可選:2g/5g/10g/30g/50g/100g/200g低頻振動,傾斜測量MEMS加速度傳感器,采用變電容原理(當(dāng)敏感元件受到加速度作用產(chǎn)生偏移,引起電容成比例變化);該傳感器MEMS敏感元件具有良好的低頻和直流響應(yīng)特性,體積小、重量輕、全密封、殼體硬質(zhì)鋁氧化可靠隔離,特別適合于分析低頻或恒定加速運動。
電容式加速度傳感器,多種量程可選:2g/5g/10g/30g/50g/100g/200g低頻振動,傾斜測量MEMS加速度傳感器,采用變電容原理(當(dāng)敏感元件受到加速度作用產(chǎn)生偏移,引起電容成比例變化);該傳感器MEMS敏感元件具有良好的低頻和直流響應(yīng)特性,體積小、重量輕、全密封、殼體硬質(zhì)鋁氧化可靠隔離,特別適合于分析低頻或恒定加速運動。
主要技術(shù)指標:
靈敏度(20±5℃) | 1000 mV/g |
測量范圍(峰值) | ±1 g |
大橫向靈敏度 | ≤5 % |
頻率響應(yīng)(-3dB) | 0~ 800 Hz |
非線性 | ≤0.5% |
工作溫度范圍 | -40~+120 ℃ |
溫度響應(yīng) | 見溫度曲線 |
沖擊極限(無供電) | 5000 g |
靈敏度溫度系數(shù) | 0.3 %/℃ |
噪聲 | <45 ug/√Hz |
輸出阻抗 | <100 Ω |
供電電源 | +6~+16 VDC |
工作電流 | ≤5 mA |
零g偏置電壓 | 2.5±0.1 V |
安裝 | 4-φ2.8孔 |
殼體材料 | 不銹鋼 |
重量 | 20 g |
輸出方式 | 整體三芯屏蔽電纜線 紅線:正電源;白線:地;綠線:輸出 |
配套件 | |
傳感器合格證 | 標定參數(shù)、頻響曲線 |
M2.5×15螺釘 | 四只 |